LAwave®-Verfahren wird mit dem R&D 100 Award ausgezeichnet
Zerstörungsfreie Prüfung der Schichteigenschaften eines Si-Wafers mit dem laser-akustischen Prüfverfahren LAwave® (Foto: Fraunhofer IWS Dresden)
Für die gemeinsame Entwicklung und Markteinführung des laserakustischen Prüfverfahrens LAwave® erhalten Forscher des Fraunhofer Centers for Surface and Laser Processing (CSLP) in den USA und des Fraunhofer-Instituts für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) in Dresden den renommierten "R&D 100 Award". Das in mehr als fünfzehnjähriger Arbeit von Dr. Dieter Schneider und Dr. Thomas Schwarz bis zur Marktreife entwickelte Geräte ist weltweit das einzige kommerzielle Prüfsystem auf der Basis der Laserakustik. Produktion und Vertrieb wurden von einer neugegründeten Dresdner Firma übernommen, so dass neue Arbeitsplätze in einem HighTech-Sektor geschaffen werden. Der größte Teil der verkauften Anlagen geht dabei in den Export. Seit kurzem wird der Vertrieb in den USA durch die Zusammenarbeit mit einem eingeführten amerikanischen Unternehmen unterstützt.
Das Verfahren selbst ist für die zerstörungsfreie Prüfung von Schichten und Werkstoffoberflächen geeignet, die im Dickenbereich von wenigen Nanometern bis Millimetern liegen. Es liefert in Abhängigkeit von der Aufgabenstellung und der Materialkombination Elastizitätsmodul und/oder, Dichte und/oder Dicke der Schicht. Unübertroffen ist insbesondere die Leistungsfähigkeit des Verfahrens bei der Bestimmung mechanischer Kennwerte ultradünner Schichten. So können z.B. für den Schutz von Festplatten verwendete superharte Kohlenstoffschichten von nur drei Nanometern (das entspricht etwa 20 Atomlagen!) zuverlässig charakterisiert werden. Andere Einsatzgebiete sind die Qualitätskontrolle von harten Verschleißschutzschichten, von Siliziumwafern oder von Sperrschichten bei Sicherheitsbehältern. Aber auch dicke Schutzschichten, wie sie mittels thermischem Spritzen oder Nitrieren hergestellt werden, lassen sich mit dem laserakustischen Prüfverfahren schnell und objektiv bewerten.
Der "R&D 100 Award" wird seit 1963 jährlich an die 100 technologisch bedeutendsten Produkte, Technologien und Prozesse verliehen, die im Laufe des letzten Jahres marktwirksam geworden sind. Zu den Gewinnern zählen u.a. der Polacolor-Film (1963), die Halogenlampe (1974), das Faxgerät (1975) und der Computerdrucker (1986). Mit dem laserakustischen Mess-System LAwave zählen jetzt auch Fraunhofer-Forscher zu den Preisträgern. In besonderer Würdigung ihres Beitrages im Bereich der angewandten Nanotechnologie wird ihnen diese Auszeichnung Anfang Oktober auf einem Meeting im Museum of Science and Technology in Chicago überreicht.
Ihre Ansprechpartner für weitere Informationen:
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS Dresden
Winterbergstr. 28, 01277 Dresden, BRD
Internet: www.iws.fraunhofer.de und
www.iws.fraunhofer.de/presse/presse.html
Dr. Dieter Schneider
Tel.: 0351 / 25 83-451, Fax: 0351 / 25 83-300
E-mail: dieter.schneider@iws.fraunhofer.de
Internet: http://www.iws.fraunhofer.de/projekte/062/e_pro062.html
Presse und Öffentlichkeitsarbeit
Dr. Ralf Jäckel
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