Multi-Wellenlängen Oberflächenmesssystem
Mit dem Multi-Wellenlängen Oberflächenmesssystem kann die Topografie insbesondere rauer Objektoberflächen ohne Schärfentiefebegrenzung mit interferometrischer Genauigkeit dargestellt werden. Das Messsystem basiert auf digitalholographischer Mikroskopie.
Darstellung einer Oberflächenmessung
Quelle: Fraunhofer IPM
Durch den Einsatz mehrerer kohärenter Lichtquellen, die aber nicht kohärent miteinander überlagert werden, können verschiedene virtuelle synthetische Wellenlängen genutzt werden.
Mit diesem Messsystem, das vom Fraunhofer IPM entwickelt wurde, kann aufgrund unterschiedlicher Messwellenlängen ein breiter Messbereich von sub-µm bis in den m-Bereich erschlossen werden. Anwendungen sind die topografische Erfassung hochpräziser Funktionsflächen und die Erkennung von Defekten für die schnelle Inline-Qualitätskontrolle in der industriellen Produktion.
Das Multi-Wellenlängen Oberflächenmesssystem wird vom Fraunhofer IPM am Messestand der Fraunhofer-Allianz Vision bei der Control 2008 in Stuttgart präsentiert. Die Fraunhofer-Allianz Vision ist ein Zusammenschluss von Fraunhofer-Instituten zu den Themen Bildverarbeitung, optische Inspektion und 3-D-Messtechnik, Röntgenmesstechnik und zerstörungsfreie Prüfung.
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